FF-200/1200复合分子泵技术性能 分子泵型号 FF-200/1200 进气口法兰 LF200 CF200 抽气速率 1200升/秒 1200升/秒 压缩比 N2 109 H2 5×103 N2 109 H2 5×103 极限压强(Pa) <2×10-6 <2×10-7 排气口法兰 KF40 启动时间 <7分钟 额定转速 27000转/分 振动值 ≤0.1mm 建议采用前级泵 12升/秒 充油量 110ml 安装方式 竖直±5° 冷却方式及温度 水冷、水温≤25℃ 泵体烘烤温度 <120℃ 环境温度 5℃~40℃ 重量 28公斤 29公斤