FB-250/1600涡轮分子泵技术性能 分子泵型号 FB-250/1600 进气口法兰 LF250 CF250 抽气速率 1600升/秒 1600升/秒 压缩比 N2 108 H2 5×102 N2 108 H2 5×102 极限压强(Pa) <2×10-6 <2×10-7 排气口法兰 KF40 启动时间 <8分钟 额定转速 24000转/分 振动值 ＜0.1mm 建议采用前级泵 15升/秒 充油量 110ml 安装方式 竖直±5° 冷却方式及温度 水冷、水温£25℃ 泵体烘烤温度 <120℃ 环境温度 5℃~40℃ 重量 39公斤 40Kg