FB-400/4200涡轮分子泵技术性能 分子泵型号 FB-400/4200 进气口法兰 LF400 抽气速率 4000升/秒 压缩比 N2 108 H2 5×102 极限压强(Pa) <2×10-6 排气口法兰 LF100 启动时间 <18分钟 额定转速 16200转/分 振动值 ≤0.2μm 建议采用前级泵 30升/秒 充油量 320ml 安装方式 竖直±5° 冷却方式及温度 水冷、水温25℃ 泵体烘烤温度 <120℃ 环境温度 5℃~40℃ 重量 108公斤