适用于生产大规模太阳能电池、集成电路所需要的高品质硅单晶。 软轴提拉型单晶炉是在流动隋性气体环境中，以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池、集成电路所需要的高品质硅单晶。 单晶炉主机系统包括：底座立柱、坩埚驱动装置、主炉室，翻板阀室，副炉室，籽晶提升与旋转机构、液压驱动装置、真空系统，充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀室，可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。 电控系统采用微机控制，功能全、精度高、稳定性好。 且具有以下特点： ※温度自动控制系统 ※电机调速控制系统 ※单晶直径自动控制系统 ※单晶熔体自动跟踪系统 各拉晶有关参数包括籽晶轴，坩埚轴的转动速 度，晶升和升速度，炉内压力，冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示，两笔记录仪记录温度和籽晶拉速，能稳定的控制生长直径6—10英寸，直径均匀的无错位单晶。