项目 参数 型号 DJLR-900 名称 单晶硅炉 电源电压 380V 电源频率 50Hz 电源相数 3相 加热方式、加热元件 电阻加热、石墨加热器 主变压器容量 250KVA 主加热器*大功率 180KW 主加热器*高加热电压 60V 整机功率 ?190KW 炉内*高温度 1600℃ 冷态炉内极限真空度 <3Pa 冷态真空泄露率 <1Pa/5min 副室打开时主炉室真空度 <3Pa 生长晶体的直径范围 8″-10″ 熔料重量 100kg~120kg 原料 多晶硅原料 硅单晶等径长度 ≥600mm 单晶硅生长时间/炉 ≈40h 主炉室尺寸 Φ900×1250mm 中炉室尺寸 Φ900×850mm 下炉室尺寸 Φ900×400mm 翻板阀通经 Φ300 副室内尺寸 Φ298×2500mm 两电极间距 480mm 机械泵配置 副室配用TR-24直连泵，主室配用H-70滑阀泵 籽晶拉速范围 0.1-10mm/min 籽晶快速 ≥160mm/min 籽晶转速范围 2-40rmp 坩埚升速范围 0.02-1mm/min 坩埚转速范围 1-30rmp 坩埚在炉内有效行程 ≥350mm 籽晶在副室内有效行程 1650mm 水炉系统回水点*高温度 40℃,在50℃时报警 主机总高 6740mm 要求厂房高度 >8000mm 主机重量 ≈4500kg 主机占地面积 3100×2300mm 整机占地面积 5300×3300mm 防震沟要求 机械泵与主室之间要有防震沟，并且距离≥3m 设备相互之间距离 ≈2m 进水量的要求（压力、流量） 压力0.15-0.2Mpa，流量20立方米/h 冷却水进水口温度 <25℃ 冷却水用量/台 ≥15立方米/h 氩气用量/台 3000L/h