结构特点 -固定花岗石工作台，三轴导轨均采用优质 “泰山青”花岗岩，因而三轴具有相同的温度特性和抗实效变形能力 -Y轴采用一体化燕尾式导轨，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度极其稳定性 -Z轴采用德国FESTO气动平衡，并具有自保护装置，提高了Z向的运动特性 -高精度高气膜刚性的自清洁式预载荷气浮轴承 -测量系统：进口RENISHAW金属光栅 -气动系统、传动及均采用世界名牌产品 精度指标： 行程范围:400(mm) x 500(mm) x 400(mm) ~ 600(mm) x 700(mm) x 500(mm) 示值误差E: 3.5 +4.0L/1000 um L 单位:mm 探测误差R:4.0 um